產(chǎn)品詳細(xì)
產(chǎn)品詳情
陶瓷真空吸盤
晶圓夾持系統(tǒng)的作用不僅包括在加工中帶動晶圓運(yùn)作，還要將加工所需要的工作載荷作用在晶圓上，并保證晶圓在加工載荷的作用下不會發(fā)生翹曲變形。因此晶圓夾持系統(tǒng)的性能對提高最終晶圓產(chǎn)品的質(zhì)量有重要意義。目前在晶圓夾持系統(tǒng)中使用最廣泛的方法是利用真空負(fù)壓來吸附工件，『真空吸盤』具有高效率、無污染、定位精度高等優(yōu)良特性。
晶圓夾持系統(tǒng)的作用不僅包括在加工中帶動晶圓運(yùn)作，還要將加工所需要的工作載荷作用在晶圓上，并保證晶圓在加工載荷的作用下不會發(fā)生翹曲變形。因此晶圓夾持系統(tǒng)的性能對提高最終晶圓產(chǎn)品的質(zhì)量有重要意義。目前在晶圓夾持系統(tǒng)中使用最廣泛的方法是利用真空負(fù)壓來吸附工件，『真空吸盤』具有高效率、無污染、定位精度高等優(yōu)良特性。
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